一、K型擴(kuò)散泵概述:
K型擴(kuò)散泵亦K型金屬油擴(kuò)散泵用于高真空和超高真空抽除高真空系統(tǒng)中對工作液體無嚴(yán)重危害的氣體,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。K型擴(kuò)散泵應(yīng)用于電子工業(yè)、化工、原子能工業(yè)、空間模擬試驗。
二、K型擴(kuò)散泵工作原理:
當(dāng)前級泵將擴(kuò)散泵內(nèi)抽至此10pa左右的預(yù)真空后,在室溫下具有低飽和蒸汽壓的工作液,由加熱器加熱,產(chǎn)生的油蒸汽沿蒸汽導(dǎo)管向上運(yùn)動,經(jīng)幾級噴嘴定向,高速噴出,將擴(kuò)散在油蒸汽中的氣體帶到前級端。由前級泵排除到大氣中,油蒸汽噴射在泵壁后,遇到冷卻后,又流回到泵底,由此重復(fù)工作,從而達(dá)到高真空目的。